Excimer Hyper V / Hyper V ST-Serie
Excimer Hyper V / Hyper V ST-Serie
Die Excimer-Module der Hyper V / Hyper V-ST Serie wurden speziell für die Inline-Behandlung von Substraten entwickelt. Sie sind besonders geeignet zur Aktivierung und Reinigung der Oberflächen von Folien, Papier und Metallen.
Prädestinierte Einsatzbereiche finden sich bei Herstellungsprozessen von Spezialfolien und OLED-Bildschirmen sowie bei Klebe- und Mattierungsprozessen.
Um den unterschiedlichen Behandlungsbreiten von Oberflächen gerecht zu werden, sind die Module in verschiedenen Standardbreiten von 300 mm bis 2200 mm erhältlich. Mit einer Bestrahlungsintensität von > 170 mW/cm² ist die Hyper V / Hyper V ST-Serie die Excimer-Serie mit der höchsten Intensität, die auf dem Markt erhältlich ist. Gefertigt in eigenen Produktionsstätten unter höchsten Qualitätsanforderungen garantieren die Excimer-Module verlässliche Betriebszeiten von 1500 Stunden und mehr.
Merkmale
- Unterschiedliche Bestrahlungsflächen von 300 mm bis 2200 mm Breite
- Testmodule vorhanden
- Flatexcimer mit der höchsten Intensität am Markt
- Prozessgas wie z. B. Stickstoff für Spezialanwendungen optional
- hohe Lebensdauer von 1500 Stunden und mehr
Technische Daten Hyper V / Hyper V ST-Serie
- Wellenlänge (nm): 172
- Intensität (mW/cm²): > 170
- Lebensdauer Lampe (70 % in h): 1500
- Bestrahlungsgröße (mm): 300–2200
- Homogenität (%): < ± 10
- Anzahl Excimerstrahler: 1–3
- Konstant-Intensitätsmodus: teilweise verfügbar
- Leistungsaufnahme (W): 600–6000
- Stickstoffverbrauch (l/min): optional
Anwendungen
- Halbleiterindustrie
- Automobilindustrie
- Sensorikindustrie
- Elektronikindustrie
- Verpackungsindustrie
v.a.
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Weiterführende Literatur
Excimer ExciJet172 55-130 Laborsystem
Excimer: Die Erklärung der Technik
Care222: Antibakterielle, antivirale UV-Desinfektionslösungen
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik (ILT) – PhotonFlex-Projekt